信息
基本信息

台阶仪

Profilometer

Dektak XT

德国/BRUKER

2021年

2021年

分类信息

G120227226

环境纳米材料研究平台

结构表征

管理信息

纳米材料与器件技术研究部

许少辉、李世佳

17318517398

shxu@issp.ac.cn

三号楼406

主要技术指标

探针压力0.03g-15mg;测量垂直分辨率£0.1nm;扫描长度:50µm-55mm

主要附件及配置

半径2µm探针

主要功能用途

测量膜厚

测试样品要求

块体或薄膜

对外收费标准

200元/个

其他说明