仪器名称: 高真空电阻蒸发镀膜机
英文名称: High vacuum evaporation coating machine
规格型号: ZHD350
国别/厂家: 中国/北京泰科诺科技有限公司
生产日期: 2021年
购置日期: 2021年
资产编号: G120227115
所属平台: 环境纳米材料研究平台
仪器大类: 材料制备
所属部门: 纳米材料与器件技术研究部
仪器负责人: 许少辉、夏凯
联系电话: 19360257690
联系邮箱: shxu@issp.ac.cn
放置地点: 三号楼416
镀层厚度:50nm-200nm
配有冷却循环水机和膜厚控制系统
蒸镀Au或Ag
薄膜或块体
Au:2000元/次;Ag:1500元/次