仪器名称: 台阶仪
英文名称: StylusProfiler
规格型号: XP-1
国别/厂家: 美国AMB10STechnology
生产日期:
购置日期: 2011年
资产编号:
所属平台: 环境纳米材料研究平台
仪器大类: 结构表征
所属部门: 能源材料与器件制造研究部
仪器负责人: 陈双宏
联系电话: 13965010431
联系邮箱: shchen@rntek.cas.cn
放置地点: 工研院A座510
测量范围10nm-400µm;精度±1%;样品尺寸≤Ф104mm
探针接触式探测,测量薄膜厚度和表面形态
薄膜
100元/个,不超10分钟,有特殊累计时间需求按具体时间收费