信息
基本信息

台阶仪

StylusProfiler

XP-1

美国AMB10STechnology

2011年

分类信息

纳米材料研究平台

结构表征

管理信息

能源材料与器件制造研究部

陈双宏

13965010431

shchen@rntek.cas.cn

工研院A座510

主要技术指标

测量范围10nm-400µm;精度±1%;样品尺寸≤Ф104mm

主要附件及配置

主要功能用途

探针接触式探测,测量薄膜厚度和表面形态

测试样品要求

薄膜

对外收费标准

100元/个,不超10分钟,有特殊累计时间需求按具体时间收费

其他说明