仪器名称： 反应离子刻蚀机（国产）
英文名称： 1
规格型号： DISC-RIE-601
国别/厂家： 国产/北京创世威纳
生产日期：
购置日期： 2023年
资产编号： GD202302565
所属平台： 纳米材料研究平台
仪器大类： 材料制备
所属部门： 纳米材料与器件技术研究部
仪器负责人： 魏懿/张洪文
联系电话： 19966549836
联系邮箱：
放置地点： 微纳楼A105
用于制备微纳结构
固体
200元/小时
