热场发射扫描电子显微镜
SEM
Sirion200
美国/FEI公司
2004年
G2287
微结构表征平台
结构表征
材料应用技术发展部
孔明光
65591637
kongmg@ipp.ac.cn
三号楼104
分辨率:1.5nm（>10kV）2.5nm（1kV）3.5nm（500V）加速电压：200V—30kV电子枪：Schottky场发射电子枪最大电子束流：22nA
OxfordINCA能谱仪牛津EBSD系统
观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织；金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；材料表面微区成分进行定性和定量分析，材料表面元素的面、线、点分布分析
薄膜，粉末，块体
300元/小时
中科院固体所微信