固体所仪器设备共享中心

信息

基本信息

仪器名称：冷场发射扫描电子显微镜

英文名称： SEM

规格型号： SU8020

国别/厂家：日本/日立公司

生产日期：

购置日期： 2014年

分类信息

资产编号： 536-9204

所属平台：微结构表征平台

仪器大类：结构表征

管理信息

所属部门：材料应用技术发展部

仪器负责人：肖志远

联系电话： 65591439

联系邮箱： zyxiao@issp.ac.cn

放置地点：三号楼108

主要技术指标

分辨率:1.0nm(加速电压15KV)2.0nm(加速电压1KV)1.3nm(减速装置1KV)加速电压:100V-30KV电子枪:冷场发射电子枪电子束减速功能，减速场2.5k

主要附件及配置

顶部二次电子探测器高位二次电子探测器低位二次电子探测器

主要功能用途

材料的微观表面观察与成份分析

测试样品要求

薄膜，粉末，块体

对外收费标准

300元/小时

其他说明