固体所仪器设备共享中心

信息

基本信息

仪器名称：磁控溅射仪(喷金)

英文名称： 1

规格型号： K550X

国别/厂家：英国Emitech

生产日期：

购置日期： 2010年

分类信息

资产编号： G2944

所属平台：微结构表征平台

仪器大类：材料制备

管理信息

所属部门：材料应用技术发展部

仪器负责人：朱晓光

联系电话： 65591637

联系邮箱： xgzhu@issp.ac.cn

放置地点：三号楼102

主要技术指标

真空范围:ATM-1x10-2mbar溅射电流:0-50mA沉积速率:0-25nm/分溅射定时:0-4分钟预设置针阀:控制氩

主要附件及配置

靶：60mm直径x0.1mm厚(金作为标准靶面)样品台：直径为50mm，靶面距离40mm,具有倾斜装置的旋转台

主要功能用途

电镜制样喷金

测试样品要求

薄膜，块体

对外收费标准

50元/分钟

其他说明