固体所公共技术服务中心

信息

基本信息

仪器名称：离子溅射镀膜仪

英文名称： Ionsputtering

规格型号： JS-1600

国别/厂家：中国/北京

生产日期：

购置日期： 2010年

分类信息

资产编号： G3175

所属平台：电子材料研究平台

仪器大类：材料制备

管理信息

所属部门：功能材料物理与器件研究部

仪器负责人：魏仁怀

联系电话： 65591433

联系邮箱： rhwei@issp.ac.cn

放置地点：新楼320

主要技术指标

靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度：99.999%真空室：直径：160mm，高：120mm样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm工作真空：8×10-2—2×10-1mbar

主要附件及配置

主要功能用途

薄膜制备

测试样品要求

对外收费标准

协商定价

其他说明