仪器名称： 激光烧蚀制备薄膜系统

英文名称： Laserablationsystem

规格型号： Compex102proKrF激光器

国别/厂家： Coherent

生产日期：

购置日期： 2021年

资产编号： G120216504

所属平台： 电子材料研究平台

仪器大类： 材料制备

所属部门： 功能材料物理与器件研究部

仪器负责人： 魏仁怀

联系电话： 65591433

联系邮箱： rhwei@issp.ac.cn

放置地点： 新楼319