仪器名称： 原子层沉积系统

英文名称： ALD

规格型号： MNT-S100Oz-L2S1

国别/厂家： 中国/安徽嘉硕

生产日期：

购置日期： 2023年

资产编号： G120230279

所属平台： 电子材料研究平台

仪器大类： 材料制备

所属部门： 功能材料物理与器件研究部

仪器负责人： 胡令

联系电话： 65591433

联系邮箱： huling@issp.ac.cn

放置地点： 新楼320