仪器名称： 电子束/热蒸发镀膜系统

英文名称： EBD/RHD

规格型号：

国别/厂家： 中国/安徽嘉硕

生产日期：

购置日期： 2019年

资产编号： G120144522/G120144521

所属平台： 电子材料研究平台

仪器大类： 材料制备

所属部门： 功能材料物理与器件研究部

仪器负责人： 胡令

联系电话： 65591433

联系邮箱： huling@issp.ac.cn

放置地点： 新楼319