仪器名称： 磁控溅射镀膜仪
英文名称： MS
规格型号： JSD-450
国别/厂家： 中国/安徽嘉硕
生产日期：
购置日期： 2013年
资产编号： G120134170
所属平台： 电子材料研究平台
仪器大类： 材料制备
所属部门： 功能材料物理与器件研究部
仪器负责人： 胡令
联系电话： 65591433
联系邮箱： huling@issp.ac.cn
放置地点： 新楼319
靶材尺寸2英寸
薄膜制备
协商定价
