信息
基本信息

脉冲激光沉积系统

PLD

JSD-400

中国/安徽嘉硕

2013年

分类信息

G3832

电子材料研究平台

材料制备

管理信息

功能材料物理与器件研究部

胡令

65591433

huling@issp.ac.cn

新楼313

主要技术指标

衬底温度RT-800度,真空度优于1mPa

主要附件及配置

主要功能用途

薄膜制备

测试样品要求

对外收费标准

协商定价

其他说明