仪器名称： 磁控溅射镀膜仪
英文名称： 1
规格型号： PVD75
国别/厂家： 中国/科华贸易有限公司
生产日期：
购置日期： 2012年
资产编号： G3794
所属平台： 纳米材料研究平台
仪器大类： 材料制备
所属部门： 纳米材料与器件技术研究部
仪器负责人： 李明
联系电话： 13739261776
联系邮箱： liming@issp.ac.cn
放置地点： 3号楼119
用于高质量金属薄膜以及氧化物等非金属介电薄膜的制备。
2500元/批次
